Лаборатория технологий микро- и наноэлектроники

Ведущий преподаватель — заведующий кафедрой, кандидат технических наук, доцент Сушенцов Н.И.

Научное направление: Вакуумные методы получения тонких пленок.

^ Установка ВЧ магнетронного распыления

^ Установка магнетронного распыления и ионного травления

^ Автоматизированная установка магнетронного распыления

^ Учебное пособие


Назад в раздел

© 2006-2016 Поволжский государственный технологический университет, ФГБОУ ВО «ПГТУ».
Почтовый адрес: 424000, Республика Марий Эл, г. Йошкар-Ола, пл. Ленина, дом 3.
Телефоны: (8362) 45-53-44 (ректор); 45-02-72 (приёмная комиссия).

При использовании текстовой информации, фото- и видеоматериалов ссылка на сайт обязательна.

Создание и продвижение сайтов www.citrus-soft.ru